大尺寸偏光片缺陷检测技术

作     者：石鹏飞 王志诚 胡文平 宋俊耀 SHI Pengfei;WANG Zhicheng;HU Wenping;SONG Junyao

作者机构：中电科风华信息装备股份有限公司太原030024 

出 版 物：《电子工艺技术》 (Electronics Process Technology)

年 卷 期：2023年第44卷第4期

页      码：55-58页

摘      要：针对不断增大的偏光片尺寸需求,结合现有中小尺寸检测工艺,设计研发了大尺寸偏光片缺陷检测工艺,解决了行业大尺寸偏光片检测自动化的问题。

主 题 词：偏光片 大尺寸 缺陷检测 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.14176/j.issn.1001-3474.2023.04.015

馆 藏 号：203122653...