基于UV-LIGA工艺的超窄带毫米波三频带通滤波器

作     者：屈增 秦瑞杰 王佳云 段俊萍 张斌珍 Qu Zeng;Qin Ruijie;Wang Jiayun;Duan Junping;Zhang Binzhen

作者机构：中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室太原030051 中北大学电气与控制工程学院太原030051 中北大学仪器与电子学院太原030051 

基　　金：国家自然科学基金(52175555) 山西省基础研究计划青年项目(202203021212146) 山西重点研发项目(国际合作)获得山西省“1331工程”重点学科建设基金(20183D421043) 山西省创新社区基金(51821003) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2023年第60卷第7期

页      码：1077-1085页

摘      要：针对当前6G无线通信系统对3 mm毫米波器件的需求急速增加,为了提前应对在这一频段的通信协议划分,利用金属谐振腔和矩形波导设计出一款中心频率为102.03 GHz的单频带通滤波器。然后,基于多模传输理论将其优化为一款中心频率分别为96.83和106.31 GHz的单通道双频带通腔体滤波器。采用交叉耦合的方式引入传输零点,设计出一款在98~105 GHz的工作范围内,具有98.49、99.79和104.20 GHz三个中心频率的超窄带三频带通腔体滤波器,其3 dB相对带宽分别为0.32%、0.63%和0.30%。采用基于SU-8负性光刻胶的UV-LIGA工艺对样品进行加工,并使用搭建的W波段电磁性能测试平台完成对样品射频性能的测试,测试结果与仿真结果具有良好的一致性。

主 题 词：超窄带毫米波三频带通滤波器 UV-LIGA工艺 6G无线通信 交叉耦合 多模传输 

学科分类：080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2023.07.011

馆 藏 号：203122710...