EACVD一体化系统衬底温度控制研究

作     者：刘利宏 Liu Lihong

作者机构：淮安信息职业技术学院机电系淮安223003 

出 版 物：《现代制造工程》 (Modern Manufacturing Engineering)

年 卷 期：2014年第10期

页      码：114-117页

摘      要：以电子辅助热丝化学气相沉积(Electron-assisted Chemical Vapor Deposition,EACVD)一体化系统为研究对象,根据金刚石沉积过程中对衬底温度的要求,设计了模糊PID衬底温度控制系统。使用结果表明:该系统对化学气相沉积(CVD)金刚石的衬底温度参数控制精确,能够长时间稳定运行,可以制备出高质量的CVD金刚石涂层。

主 题 词：电子辅助热丝化学气相沉积 金刚石膜 模糊-线性控制器 衬底温度场 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0835[0835] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-3133.2014.10.024

馆 藏 号：203122767...