动态指数衰减法校准B-A规

作     者：叶勤 邹小欧 黄振邦 Ye Qin Zhou Xiaoou Huang Zhenbang(Dept. Physics)

作者机构：暨南大学物理学系 

基　　金：1988~1990年国家自然科学基金 

出 版 物：《暨南大学学报（自然科学与医学版）》 (Journal of Jinan University(Natural Science & Medicine Edition))

年 卷 期：1992年第13卷第1期

页      码：40-46页

摘      要：就动态指数衰减法校准B-A规的原理作了分析论证。设计校准系统时考虑了散流室、校准室的形状及有关参量,系统的整体构成以及气体分子的实际分布。并就热阴极电离规的校准结果和误差进行了讨论。校准系统使用氦循环低温泵及钛升华泵获10^(-8)～10^(-9)Pa超高真空,校准范围达10^(-2)～10^(-7)Pa,误差为6.5％。

主 题 词：真空规 校准 动态指数衰减 B-A规 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

馆 藏 号：203122884...