MPCVD金刚石薄膜设备冷却水温控系统的设计

作     者：岳云峰 任天平 朱振伟 YUE Yun-feng;REN Tian-ping;ZHU Zhen-weil

作者机构：郑州大学机械与动力工程学院河南郑州450001 河南机电职业学院机电工程学院河南郑州450001 

基　　金：CuSnTi钎焊金刚石的界面形成机制及其残余应力研究(20B460005) 

出 版 物：《机械设计与制造》 (Machinery Design & Manufacture)

年 卷 期：2023年第8期

页      码：190-194页

摘      要：为了解决MPCVD设备运行时冷却水手动调节方式存在的弊端,实现冷却水温的自动调节,设计了一种冷却水温度控制系统。该系统以STM32单片机为控制器的核心,步进电机为执行机构,采用BP神经网络PID控制算法。对系统进行了仿真和试验验证,结果表明:该系统能够实现MPCVD设备生产制备金刚石薄膜过程中冷却水温度的自动控制,与传统的PID控制相比,系统采用BP神经网络PID控制算法时超调量更小,控制精度更高,均方根误差和平均绝对误差更小,具有更好的温度控制效果。

主 题 词：MPCVD设备 冷却水温度 自动控制 STM32控制器 增量式PID BP神经网络 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 0835[0835] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3997.2023.08.039

馆 藏 号：203123005...