准分子激光器预电离过程影响分析

作     者：王倩 范元媛 赵江山 刘斌 亓岩 颜博霞 王延伟 周密 韩哲 崔惠绒 Wang Qian;Fan Yuan-Yuan;Zhao Jiang-Shan;Liu Bin;Qi Yan;Yan Bo-Xia;Wang Yan-Wei;Zhou Mi;Han Zhe;Cui Hui-Rong

作者机构：中国科学院微电子研究所光电技术研发中心北京100094 

基　　金：国家自然科学基金(批准号:12074405) 中国科学院青年创新促进会(批准号:2020121)资助的课题 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2023年第72卷第19期

页      码：119-125页

摘      要：准分子激光器由于其短波长、高重频、大能量在国民经济生产中具有重要作用.在准分子激光器应用场景及输出特性中,光束质量及能量稳定性是高端准分子光源的指标,而预电离过程发展得充分与否是准分子激光系统能否输出高光束质量、能量稳定的激光脉冲的关键.本文主要针对ArF准分子激光器的预电离过程,建立了一维及二维仿真计算模型,基于Comsol Multiphysics软件的流体计算方法进行数值仿真分析计算,重点研究了预电离过程中电离波的传播过程以及预电离与主放电之间的关系.研究表明,进行准分子激光器进行系统设计时,要综合考虑电晕棒及主电极的空间结构.合适的预电离结构及预电离电压能够使主放电在自由电子维持期间被触发,可以有效降低放电电压,避免流注及弧光放电,提升输出光束质量及系统能量稳定性.

主 题 词：准分子激光器 流体模型 预电离 电子密度 

学科分类：0711[理学-心理学类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.72.20230731

馆 藏 号：203123075...