一种新型环形上DBR刻蚀微结构VCSEL及其空心光束

作     者：逄超 晏长岭 杨静航 钱冉 李奕霏 PANG Chao;YAN Chang-Ling;YANG Jing-Hang;QIAN Ran;LI Yi-Fei

作者机构：长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室吉林长春130000 

基　　金：Supported by Jilin Province Science and Technology Department project(20220101122JC) Changchun University of Science and Technology project(627011102) 

出 版 物：《红外与毫米波学报》 (Journal of Infrared and Millimeter Waves)

年 卷 期：2023年第42卷第4期

页      码：462-467页

摘      要：设计了带有质子注入高阻区的刻蚀微结构面发射半导体激光器结构,使得从出光口到上DBR形成环形波导,进而直接产生空心激光束输出。使用FDTD软件计算了刻蚀微结构VCSEL的光场分布,得到的环形模式图样在不同模式数目下都能保持空心光束的特性。制备了室温下激射波长为848 nm的微结构VCSEL,并测试其输出特性。阈值电流为0.27 A,峰值功率最高可达170 mW。不同电流下的近场图都显示出非常明显的空心环形光斑,远场光强分布曲线也符合空心光束的特性。该新型VCSEL技术为空心光束甚至阵列器件的发展提供了一种新的方法。

主 题 词：垂直腔面发射半导体激光器 空心激光束 刻蚀结构 质子注入 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.11972/j.issn.1001-9014.2023.04.006

馆 藏 号：203123099...