一种晶圆级封装的MEMS数控衰减器

作     者：孙俊峰 姜理利 刘水平 郁元卫 朱健 黎明 陈章余 SUN Junfeng;JIANG Lili;LIU Shuiping;YU Yuanwei;ZHU Jian;LI Ming;CHEN Zhangyu

作者机构：南京电子器件研究所南京210016 江苏联合职业技术学院南京工程分院南京211135 

出 版 物：《固体电子学研究与进展》 (Research & Progress of SSE)

年 卷 期：2023年第43卷第4期

页      码：353-358页

摘      要：设计实现了一种晶圆级封装的三位MEMS数控衰减器,工作频段DC~15 GHz,衰减范围0~35 dB,步进5 dB。衰减器采用MEMS工艺实现,信号传输采用共面波导(CPW)结构,6个直接接触式悬臂梁MEMS开关对称放置实现不同衰减量的切换,每个开关带有三个触点,电阻网络采用T型结构,整个衰减器实现晶圆级封装。测试结果显示,DC~15 GHz频段内实现了8个衰减态,衰减器插入损耗小于1.7 dB,回波损耗小于-15 dB,衰减平坦度小于±5%,功耗几乎为零。芯片尺寸为2.7 mm×2.7 mm×0.8 mm。

主 题 词：数控衰减器 晶圆级封装 RF MEMS MEMS开关 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.19623/j.cnki.rpsse.2023.04.004

馆 藏 号：203123215...