一种新型微机电系统法布里-珀罗滤波器的设计与分析

作     者：张建飞 庄须叶 汪为民 陶逢刚 姚军 

作者机构：中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室四川成都610209 中国科学院研究生院北京100049 

基　　金：国家自然科学基金(60978051) 国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ030124) 西部之光博士资助项目(A11K011)资助课题 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2012年第32卷第8期

页      码：160-166页

摘      要：基于微机电系统(MEMS)技术,提出了一种光栅与法布里-珀罗(F-P)腔相结合的新型MEMS F-P滤波器结构,这种滤波器既能保证较宽的自由光谱范围又能够获得较窄的半峰全宽。从实现机理、参数设计和选择对F-P滤波器的结构进行了深入分析,并着重对微桥桥面的机电性能进行了仿真计算。通过选择不同的微桥桥面厚度(0.5,0.6,0.7,0.8,0.9,1μm),比较微桥在静电力作用下的平整度,发现当微桥表面厚度为1μm时,得到了一个较优结果,在5V电压下,上反射镜的倾斜位移ΔL为9.11nm,最大腔长变化量为242nm,这样能保持前后腔面反射光的平行要求,从而保证滤波器的滤波效率和对选择光的利用率。该滤波器能够解决传统微型滤波器自由光谱范围与半峰全宽相互限制的矛盾,提高微型滤波器的性能。

主 题 词：光学器件 微机电系统 滤波器 光栅 可调谐法布里-珀罗腔 微桥 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/aos201232.0822005

馆 藏 号：203123261...