极紫外光刻机曝光系统光学设计研究与进展

作     者：李艳秋 南雁北 陈雨情 闫旭 张心怡 刘丽辉 Li Yanqiu;Nan Yanbei;Chen Yuqing;Yan Xu;Zhang Xinyi;Liu Lihui

作者机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室北京100081 

基　　金：国家自然科学基金(6217514) 国家科技重大专项(2017ZX02101006-001) 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2023年第43卷第15期

页      码：318-333页

摘      要：极紫外光刻曝光光学系统是极紫外光刻机的核心部件,其设计直接影响极紫外光刻机的性能。极紫外光刻机曝光系统的设计难度大、研究周期长,国外极紫外光刻机产品已经用于高端芯片的制造,但国外对中国禁运相关产品。国内极紫外光刻机曝光系统的设计和研发始于2002年。国内相关领域的研究主要聚焦在极紫外光刻机曝光光学系统的光学设计、像差检测、公差分析、热变形分析等。结合国内外极紫外光刻机曝光光学系统设计研究的历史和现状,较为系统地综述了极紫外光刻投影物镜和照明系统的设计研究与进展,包括:极紫外光刻机投影物镜系统及其设计方法、极紫外光刻照明系统及其设计方法、极紫外光刻曝光光学系统的公差分析、热变形及其对成像性能的影响研究,这为我国从事极紫外光刻机研制、曝光系统光学设计与加工的学者、工程师等提供了极紫外光刻机曝光系统设计研究的历史、现状和未来趋势的相关信息,助力我国极紫外光刻机的设计和研制。

主 题 词：极紫外光刻 光刻机曝光系统 物镜系统 照明系统 光学设计 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/AOS230739

馆 藏 号：203123369...