四波前横向剪切干涉仪的关键技术研究

作     者：刘克 张孝天 钟慧 何飞 刘书豪 李艳秋 Liu Ke;Zhang Xiaotian;Zhong Hui;He Fei;Liu Shuhao;Li Yanqiu

作者机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室北京100081 

基　　金：国家自然科学基金(61975013,62175014) 国家科技重大专项(2017ZX02101006-001) 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2023年第43卷第15期

页      码：245-255页

摘      要：四波前横向剪切干涉(QWLSI)是一种精度高、动态范围大、分辨率高、抗干扰能力强的瞬态波前检测技术。本文结合国内外相关研究工作,重点阐述了本课题组在分束器件设计、多方向横向剪切干涉图处理、测量误差校准等QWLSI的关键技术研究方面取得的进展。以关键技术研究为基础,本课题组开发了QWLSI的原理装置,其绝对测量精度(RMS)达到0.0038λ(2.4 nm,λ=635 nm),重复测量精度(RMS)达到0.0004λ(0.25 nm,λ=635 nm)。QWLSI与商品化的夏克-哈特曼波前传感器的对比实验结果表明,两种仪器对含有第4~36项单项Zernike像差入射波前的测量结果基本一致。

主 题 词：光学检测 剪切干涉 衍射光栅 相位提取 波前重建 误差校准 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/AOS230738

馆 藏 号：203123369...