Pd-Ni合金氢气传感器抗干扰性能提升研究

作     者：薛勇 张浩 张月鑫 陈唯捷 林章程 肖彩丽 禹宇 XUE Yong;ZHANG Hao;ZHANG Yuexin;CHEN Weijie;LIN Zhangcheng;XIAO Caili;YU Yu

作者机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙410111 湖南省薄膜传感技术国防重点实验室湖南长沙410111 高性能智能传感器及检测系统湖南省重点实验室湖南长沙410111 

基　　金：科技部智能传感器专项资助项目(2022YFB3207500) 

出 版 物：《测试技术学报》 (Journal of Test and Measurement Technology)

年 卷 期：2023年第37卷第5期

页      码：386-393页

摘      要：设计了一种Pd_(90)Ni_(10)薄膜电阻型氢气传感器,在Pd_(90)Ni_(10)薄膜表面覆盖一层保护膜以提高传感器在不同环境气体中的抗干扰性能。首先,研究了HfO_(2)、聚四氟乙烯(PTFE)、SiO_(2)、Al_(2)O_(3)4种不同材料对传感器抗干扰性能的提升影响,试验发现Al_(2)O_(3)保护膜对提升传感器抗干扰性能的效果最佳。其次,对Al_(2)O_(3)保护膜的厚度进行了优化,将Pd_(90)Ni_(10)薄膜氢气传感器的抗干扰性能进一步提升。最后,对传感器的零点电阻稳定性、氢气响应重复性、梯度响应等性能进行测试,得到了适用于Pd_(90)Ni_(10)薄膜氢气传感器的保护膜优化条件,使传感器的抗干扰等性能得到了提升。

主 题 词：氢气传感器 Pd-Ni 抗干扰 薄膜 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-7449.2023.05.004

馆 藏 号：203123369...