基于光栅干涉仪的纳米位移台校准方法研究

作     者：刘丽琴 管钰晴 邹文哲 郭创为 张玉杰 徐瑞书 傅云霞 雷李华 LIU Liqin;GUAN Yuqing;ZOU Wenzhe;GUO Chuangwei;ZHANG Yujie;XU Ruishu;FU Yunxia;LEI Lihua

作者机构：上海市计量测试技术研究院上海201203 上海市在线检测与控制技术重点实验室上海201203 

基　　金：上海市2021年度“科技创新行动计划”自然科学基金项目(21ZR1483100) 上海市2021年度“科技创新行动计划”优秀学术/技术带头人项目(21XD1425000) 国家重点研发计划青年科学家项目(2021YFF0603300) 

出 版 物：《计量科学与技术》 (Metrology Science and Technology)

年 卷 期：2023年第67卷第6期

页      码：37-43页

摘      要：随着集成电路制造关键尺寸向着5 nm的节点迈进,我国集成电路检测设备产业化的呼声剧增,纳米位移台作为集成电路制造、超精密加工、精密科学仪器制造等领域检测设备的关键器件,研究人员对其重复定位精度、线性度的要求越来越高。光栅干涉仪以光栅作为标准物质溯源到长度基准,因其对环境因素的变化不敏感、抗干扰能力强、稳定性高的优点,成为微纳检测设备产业化的新方向。采用基于标准物质的光栅干涉仪,针对纳米位移台的重复定位精度、线性度分别设计了不同的校准方案,并通过实验验证方案的可行性,最后对该校准方法的测量不确定度和溯源性进行了分析,可以看出设计的校准方案测量稳定、溯源链短。

主 题 词：计量学 光栅干涉仪 标准光栅 位移校准 纳米位移台 

学科分类：08[工学] 080402[080402] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.12338/j.issn.2096-9015.2023.0114

馆 藏 号：203123379...