应用于划痕检测的白光共聚焦色散物镜设计

作     者：张进 向阳 黄雷 窦艳红 ZHANG Jin;XIANG Yang;HUANG Lei;DOU Yanhong

作者机构：长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 吉林省计量科学研究院吉林省计量测试仪器与技术重点实验室吉林长春130103 

基　　金：中央引导地方科技发展资金吉林省基础研究专项(202002059JC) 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2023年第44卷第5期

页      码：992-997页

摘      要：白光共聚焦位移传感器在机车轮轴划痕深度测量中有很好的适用性,色散物镜是决定传感器检测范围与分辨率的关键器件。根据检测需求,结合白光共聚焦原理和线性色散条件选择合适的初始结构,利用Zemax光学设计软件对初始结构进行优化与分析,设计了一款高线性度短共轭距色散镜头,测量范围为1 mm,工作光谱范围为400 nm~700 nm,镜头球差小于1.7μm,系统轴向位移分辨率为0.615μm,色散线性判定系数R2为0.9975,共轭距为104 mm,使镜头小型化的同时具有高分辨率和高线性度的优点。

主 题 词：划痕检测 色散物镜 光学设计 白光共聚焦 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.5768/JAO202344.0501007

馆 藏 号：203123682...