C波段宽带薄膜体声波滤波器设计及验证

作     者：蒋世义 蒋平英 马晋毅 陈彦光 徐阳 刘娅 徐溢 JIANG Shiyi;JIANG Pingying;MA Jinyi;CHEN Yanguang;XU Yang;XU Yang;LIU Ya;XU Yi

作者机构：中国电子科技集团公司第二十六研究所重庆400060 重庆大学光电学院重庆400044 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2023年第45卷第4期

页      码：535-539页

摘      要：介绍了一种适用于三维堆叠的凸点式晶圆级封装的小型化C波段宽带薄膜体声波滤波器的设计方法,并进行了工艺验证。通过对压电层薄膜进行钪掺杂、材料参数提取、结构模型优化实现了相对带宽大于5%的薄膜体声波滤波器设计。通过表面硅基微机电系统(MEMS)工艺制备与凸点式晶圆级封装实现滤波器制备。研制出标称频率5800 MHz、插入损耗小于2.8 dB、阻带抑制大于40 dBc、体积仅1.0 mm×1.0 mm×0.35 mm的C波段宽带薄膜体声波滤波器。

主 题 词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 宽带 高抑制度 

学科分类：080904[080904] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2023.04.011

馆 藏 号：203123714...