钛膜表面阳极氧化层制备及表征

作     者：刘文科 曹小华 彭述明 龙兴贵 杨本福 罗顺忠 王维笃 LIU Wen-ke;CAO Xiao-hua;PENG Shu-ming;LONG Xing-gui;YANG Ben-fu;LUO Shun-zhong;WANG Wei-du

作者机构：中国工程物理研究院四川绵阳621900 

基　　金：中国工程物理研究院行业预研基金(20020536) 中国工程物理研究院核物理与化学研究所科技创新基金(805)资助 

出 版 物：《表面技术》 (Surface Technology)

年 卷 期：2007年第36卷第1期

页      码：51-55页

摘      要：为了研究钛膜表面阳极氧化层对吸附和解吸氢同位素特性的影响,需制备和表征钛膜表面阳极氧化层。设计了钛膜表面阳极氧化装置,确定了制备厚度不同的氧化层的阳极氧化工艺参数,其工艺简单、易操作;并对阳极氧化层进行了AES深度剖析和XPS化合价分析。其结果如下:在确定的工艺参数下,设计加工的阳极氧化装置能够制备出表面呈彩色的阳极氧化层,而且表面平整、光滑、均匀,与基体金属结合牢固;采用AES深度剖析确定了阳极氧化层的厚度,而且在其它条件相同时,获得阳极氧化层的厚度随着电压、H2SO4浓度和时间的增加而明显变厚的规律;采用XPS研究了阳极氧化层钛的主要价态为+4、+3和+2价,氧化层主要组成为TiO2、Ti2O3和TiO。

主 题 词：钛膜 阳极氧化 制备 表征 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3660.2007.01.018

馆 藏 号：203123959...