锑化铟红外探测器的微透镜阵列设计及试验

作     者：谭启广 张轶 任秀娟 李忠贺 宁提 TAN Qi-guang;ZHANG Yi;REN Xiu-juan;LI Zhong-he;NING Ti

作者机构：华北光电技术研究所北京100015 

出 版 物：《红外》 (Infrared)

年 卷 期：2023年第44卷第9期

页      码：23-27页

摘      要：台面型锑化铟红外焦平面探测器的制作工艺简单,量子效率高,但是填充因子较低且会随着像元尺寸的减小而进一步降低。减小台面腐蚀深度可以提高探测器的填充因子,但会增大串音。介绍了一种新型微透镜阵列的设计与制备方法,以提高锑化铟红外探测器的填充因子并减小串音。与现有的热回流微透镜阵列相比,该微透镜阵列的填充率、表面粗糙度以及尺寸均匀性能得到了较好的兼顾,可直接在锑化铟红外探测器表面制作,工艺简单。结果显示,探测器的串音降低26%,光响应提高22%。

主 题 词：红外焦平面探测器 锑化铟 微透镜阵列 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-8785.2023.09.004

馆 藏 号：203123967...