超长线列红外探测器组件的低温面形研究

作     者：张璐 付志凯 刘伟 ZHANG Lu;FU Zhi-kai;LIU Wei

作者机构：中国电子科技集团公司第十一研究所北京100015 

出 版 物：《红外》 (Infrared)

年 卷 期：2023年第44卷第9期

页      码：16-22页

摘      要：随着红外焦平面探测器阵列规模的不断扩大,由多层结构低温热失配形变导致的杜瓦可靠性问题愈发突出,对焦面低温形变的定量化表征需求越来越迫切。基于超长线列红外焦平面探测器冷箱组件开展焦面低温形变研究,针对多层结构粘接造成的焦面低温形变进行了理论仿真。设计了一种探测器工作温度90 K下焦面低温形变的测试方法。对比分析面形测试结果与仿真计算,低温下焦面整体下移,但变形曲线呈拱形。仿真得出两边芯片向下凹约9.24μm,中间位置芯片向下凹1.36μm。实验得出两边芯片向下凹约40μm,中间位置芯片向下凹10μm。数据差异与仿真材料的参数设置有关。验证了仿真结果的合理性,可为超长线列探测器焦面多层结构设计提供参考依据。

主 题 词：低温形变 理论仿真 面形测试 材料参数 红外焦平面探测器 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-8785.2023.09.003

馆 藏 号：203123967...