面向IC封装的两自由度精密气浮定位平台设计

作     者：张大卫 张胜泉 赵兴玉 王福军 ZHANG Da-wei;ZHANG Sheng-quan;ZHAO Xing-yu;WANG Fu-jun

作者机构：天津大学机械工程学院天津300072 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50505032) 天津市科技攻关计划资助项目(05YFGPGX06000) 

出 版 物：《天津大学学报》 (Journal of Tianjin University(Science and Technology))

年 卷 期：2007年第40卷第11期

页      码：1351-1356页

摘      要：为提高引线键合机定位机构的运动速度和定位精度,提出了一种基于气浮导轨支撑的两自由度高速精密定位平台.该平台采用了新型的气浮解耦机构,使音圈电机置于固定支座上,有效地减小了定位平台的运动惯量.阐述了该气浮平台的解耦原理,探讨了节流孔直径和轴径间隙对平台承载能力和静态刚度的影响规律,同时得到一组优化参数.在此基础上对平台的运动稳定性进行深入分析,该平台在给定的初始条件下可快速趋于稳定,所得结论为该类气浮定位平台的设计提供了一定的理论基础。

主 题 词：定位平台 气浮解耦机构 气浮导轨 运动稳定性 

学科分类：080704[080704] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.0493-2137.2007.11.018

馆 藏 号：203123988...