双轴微磁通门传感器

作     者：康春磊 杨建中 田扬超 刘刚 KANG Chun-lei;YANG Jian-zhong;TIAN Yang-chao;LIU Gang

作者机构：中国科技大学国家同步辐射实验室安徽合肥230029 清华大学精仪系北京100084 

出 版 物：《功能材料与器件学报》 (Journal of Functional Materials and Devices)

年 卷 期：2008年第14卷第2期

页      码：323-326页

摘      要：设计和制作了一种双轴微磁通门传感器。这种微型传感器为螺线管型,磁芯设计为矩形环状闭合结构,磁芯每条边上均绕有激励线圈和检测线圈,保证传感器能够同时检测X轴和Y轴两个方向上的弱磁场。采用了MEMS技术制作微型传感器,其中磁芯用电镀的方法获得,材料为N i0.8Fe0.2坡莫合金,厚度5μm。制作出的微型传感器的尺寸为7×7mm2,单元内部最小线宽为50μm。检测了线圈的电气导通性,测得电阻值为110欧姆。该微型传感器能够检测弱磁场,因此可用于航天、医学和军事等领域。

主 题 词：磁通门 MEMS 电镀 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.009

馆 藏 号：203123995...