一种新型谐振式MOEMS陀螺的设计及分析

作     者：刘惠兰 冯丽爽 单志刚 贺斌 王广龙 LIU Hui-lan;FENG Li-shuang;SHAN Zhi-gang;HE Bin;WANG Guang-long

作者机构：北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院北京100083 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第2期

页      码：244-247页

摘      要：提出一种新型的利用空间光路敏感Sagnac效应的谐振式MOEMS陀螺,设计了利用微镜构成的光学谐振腔。此结构具有小型化优势,可利用MOEMS工艺进行加工。理论分析了光源及谐振腔参数对陀螺基本探测极限的影响,指导参数设计,得到陀螺的极限灵敏度为1.54°/h。通过模式匹配理论对谐振腔型式进行了改进,减小了谐振腔损耗。进行了谐振腔原理验证实验,观察到谐振曲线。最后对微谐振腔的加工工艺进行了讨论。

主 题 词：陀螺 微光机电系统 谐振腔 微镜 原理验证 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 0802[工学-机械学] 070102[070102] 0811[工学-水利类] 0701[理学-数学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.014

馆 藏 号：203123998...