同时测试波导传输损耗和弯曲损耗的方法

作     者：范作文 贾连希 李赵一 周敬杰 丛庆宇 曾宪峰 FAN Zuo-wen;JIA Lian-xi;LI Zhao-yi;ZHOU Jing-jie;CONG Qing-yu;ZENG Xian-feng

作者机构：上海大学微电子学院上海201800 中国科学院上海微系统与信息研究所上海201800 上海新微技术工业研究院上海201800 

基　　金：国家重点研发计划(No.2018YFB2200500) 

出 版 物：《中国光学（中英文）》 (Chinese Optics)

年 卷 期：2023年第16卷第5期

页      码：1177-1185页

摘      要：波导的传输损耗是评价集成光学平台性能的一个关键指标。常用的测量传输损耗的cut-back测试方法需引入弯曲波导测试结构。为了去除弯曲损耗的影响,通常会将弯曲半径设计的足够大,但这样会占用很多的版图面积。本文基于铌酸锂平台提出了一种可以同时测试波导传输损耗和弯曲损耗的方法。通过仿真发现波导弯曲损耗与弯曲半径成指数关系,对弯曲损耗取对数值后,与弯曲半径成线性关系。利用遗传算法拟合cut-back结构的插入损耗曲线,并计算得到波导的传输损耗和弯曲损耗。用该方法测量铌酸锂波导,在1550 nm波长下得到0.558 dB/cm的传输损耗和100μm弯曲半径下0.698 dB/90°的弯曲损耗。利用这种方法可以同时测试波导的传输损耗和弯曲损耗,还可以大大节省占地面积。

主 题 词：传输损耗 弯曲损耗 铌酸锂 遗传算法 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.37188/CO.EN.2022-0027

馆 藏 号：203124015...