大口径超轻量化碳化硅反射镜超精密铣磨技术(特邀)

作     者：殷龙海 李延伟 李骏驰 李鑫 黄贺 谢新旺 房圣桃 张斌智 Yin Longhai;Li Yanwei;Li Junchi;Li Xin;Huang He;Xie Xinwang;Fang Shengtao;Zhang Binzhi

作者机构：季华实验室广东佛山528200 

基　　金：季华实验室自主立项项目(X200021TC200) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2023年第52卷第9期

页      码：23-30页

摘      要：在分析了超轻量化大口径碳化硅(SiC)反射镜(轻量化率≥90%)表面去除原理和难点的基础上,为了实现此类型反射镜的快速加工,提出了一种采用有限元分析进行验证的五轴高效超精密铣磨方法。通过对反射镜铣磨过程中产生共振的机理进行分析,解释了共振的原因,利用有限元分析方法进行仿真模拟,验证了加工过程镜面不会被破坏且系统不发生共振,设计环形工装支撑并对口径Ф510 mm、壁厚4 mm、轻量化率92%的SiC反射镜进行快速铣磨加工。反射镜初始面形峰谷(PV)值为956.1μm,镜面去除量为1 mm,加工时间仅为48 h,相较于人工研磨研制周期降低了90%。通过检测,反射镜面形PV值为3.5μm,满足反射镜抛光前面形精度优于4μm的要求。

主 题 词：铣磨 SiC反射镜 有限元分析 超轻量化 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 1010[医学-医学技术类] 0804[工学-材料学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 1009[医学-法医学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/IRLA20230270

馆 藏 号：203124074...