用于耳内体温监测的柔性温度传感器

作     者：项晓禹 孙鹏 刘伟涛 李浩然 张弛 刘军山 Xiang Xiaoyu;Sun Peng;Liu Weitao;Li Haoran;Zhang Chi;Liu Junshan

作者机构：大连理工大学机械工程学院辽宁省微纳米技术及系统重点实验室辽宁大连116024 

基　　金：国家重点研发计划项目(2020YFB2008502) 国家自然科学基金(51875083) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2023年第60卷第9期

页      码：1429-1435页

摘      要：为了在使用入耳式耳机进行日常活动时,可以通过监测耳内温度来评估健康状况,研制了一种柔性铂薄膜温度传感器。传感器的感温单元设计为蛇形结构,可以共形贴附于曲面。制备过程中,采用磁控溅射技术在已图形化的柔性基板表面沉积铂,省去光刻、显影等工艺,直接完成对铂薄膜的图形化。在25~45℃的温度范围内,传感器的电阻温度系数为0.0028/℃,分辨率为0.1℃,能够满足体温测量对传感器性能的要求。将传感器集成至耳机耳塞上,并通过标定实验得到电阻-温度关系公式。研发了基于传感器的无线入耳式体温监测系统,结合手机应用程序(APP)进行实际体温测量。在36.3~36.7℃的温度范围内,对同一位使用者测温的平均误差为±0.058℃,表明该传感器能够准确获取耳内体温。

主 题 词：温度传感器 柔性传感器 微机电系统(MEMS)传感器 可穿戴设备 体温监测 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2023.09.011

馆 藏 号：203124150...