微纳光机械传感器研究进展

作     者：孙浩哲 洪孝荣 纪昌银 李家方 SUN HaoZhe;HONG XiaoRong;JI Chang-Yin;LI JiaFang

作者机构：北京理工大学物理学院教育部先进光电量子结构设计与测量重点实验室北京100081 北京理工大学物理学院北京市纳米光子学与超精密光电系统重点实验室北京100081 

基　　金：国家自然科学基金(编号:61975016) 北京市自然科学基金(编号:1212013,Z190006) 中国博士后科学基金(编号:2021M700436) 广东省重点研发计划(编号:2020B010190001)资助项目 

出 版 物：《中国科学：物理学、力学、天文学》 (Scientia Sinica Physica,Mechanica & Astronomica)

年 卷 期：2023年第53卷第11期

页      码：55-75页

摘      要：利用机械运动与光学响应间的相互耦合和共振增强实现的微纳光机械传感器具有小型化、灵敏度高、检测阈值低等优势,其检测范围可从毫米尺度的物理机械运动到纳米尺度下的分子振动,为精确传感的实际应用提供了新颖的策略.微纳光机械传感器可实现多个物理参量的精确传感,如力、位移、质量、声、化学以及热传感参量等.本文介绍了近年来光机械传感器领域的部分重要研究进展,总结了微纳光机械传感器的三个主要发展方向,即无源光机械传感器、电子-光子机械传感平台和中红外分子振动传感,介绍了微纳光机械传感器的配置、应用和集成.最后,对微纳光机械传感器的研究进行了总结和展望.

主 题 词：光机械传感器 精密传感 微纳机械系统 光学耦合共振 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.1360/SSPMA-2023-0007

馆 藏 号：203124191...