基于硅基三维集成技术的W频段有源相控阵微系统

作     者：杨驾鹏 周骏 曹志翔 孟洪福 沈亚 YANG Jia-peng;ZHOU Jun;CAO Zhi-xiang;MENG Hong-fu;SHEN Ya

作者机构：南京国博电子股份有限公司江苏南京211111 东南大学毫米波国家重点实验室江苏南京210096 

基　　金：国家科技重大专项(No.2018ZX03001012) 

出 版 物：《电子学报》 (Acta Electronica Sinica)

年 卷 期：2023年第51卷第8期

页      码：2160-2167页

摘      要：本文基于硅基三维集成技术,提出了一种高集成度低剖面的W频段有源相控阵微系统.将阵列划分为若干个2×4单元的W频段相控阵子阵微系统.每个子阵微系统采用了三维布局封装结构,内部一体化集成了天线、有源芯片和无源网络等功能单元.以子阵微系统为基本单元,利用阵列扩展技术将8个子阵微系统拼接成为8×8单元的W频段有源相控阵阵列.设计了高耦合度低损耗的CPW共面波导(co-planar waveguide,CPW)传输线、基于TSV硅通孔(through silicon via,TSV)的准同轴垂直传输结构、基于微凸点的hot-via芯片接口等高频传输结构,解决了天线阵列到有源芯片的W频段信号层间传输难题.样机加工测试结果表明,92~96 GHz频率范围内,该相控阵阵列可实现二维波束快速扫描功能,扫描角达到±40°,重量仅为85 g,剖面厚度仅为7.4 mm.

主 题 词：W频段 微系统 三维集成 有源相控阵 

学科分类：080904[080904] 0810[工学-土木类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080402[080402] 0804[工学-材料学] 081001[081001] 

核心收录：

D　O　I：10.12263/DZXB.20220054

馆 藏 号：203124209...