高灵敏度网状石墨烯微弱压力传感器的研究

作     者：谢凌东 杨朔 周宏辉 翁东雷 赵铁林 蒋科若 徐帆 XIE Lingdong;YANG Shuo;ZHOU Honghui;WENG Donglei;ZHAO Tielin;JIANG Keruo;XU Fan

作者机构：国网浙江省电力有限公司宁波供电公司浙江宁波315012 宁波送变电建设有限公司浙江宁波315000 宁波送变电建设有限公司运维分公司浙江宁波315032 南京元感微电子有限公司南京211100 

基　　金：国家青年自然科学基金资助项目(61704086) 中国博士后科学基金资助项目(2017M621692) 

出 版 物：《微电子学》 (Microelectronics)

年 卷 期：2023年第53卷第4期

页      码：735-740页

摘      要：为了改善微弱压力传感器的灵敏度,利用微结构来产生压阻效应的方法,制备出一种性能优异的压力传感器。研究了三种不同结构的石墨烯压力传感器,并设计和研究了石墨烯压力传感器的版图结构、工艺制备流程和材料表征。最后,对三种不同结构的石墨烯压力传感器进行了灵敏度测试。实验结果表明,网状结构的石墨烯压力传感器具有较高的灵敏度,在低压强下(0~200 Pa)的灵敏度可达到0.303 kPa^(-1),最低可检测到24.5 Pa的压强。该网状结构的石墨烯压力传感器是一种可以感知微弱压力变化的高性能压力传感器。

主 题 词：石墨烯 压力传感器 网状结构 灵敏度 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.13911/j.cnki.1004-3365.220397

馆 藏 号：203124221...