借助光刻成像仿真软件的μDBO穿线套刻标记

作     者：陈天元 周钰颖 高安 CHEN Tianyuan;ZHOU Yuying;GAO An

作者机构：上海微电子装备(集团)股份有限公司前道系统集成部上海201203 上海微电子装备(集团)股份有限公司量测产品部上海201203 上海市光刻光学与检测重点实验室上海201203 

出 版 物：《清华大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期：2023年第63卷第12期

页      码：2057-2075页

摘      要：在光刻机的对准、曝光和量测等过程中,存在量程范围小,测量精度要求极高的套刻标记。这些套刻标记在实现特定功能的同时,会受到多种误差的影响,比如标记线宽与设计差异、标记线条边缘粗糙度、标记边缘效应等。该文旨在解决光刻套刻量测领域中的问题,特别是针对业界常用的微型衍射套刻(micro diffraction-based overlay,μDBO)标记,通过对穿线套刻情形进行量测过程的仿真研究,提出了一种借助光刻成像仿真软件进行标记量测结果仿真的方法。该文运用自制代码的DrM软件和商业仿真软件HyperLith作为工具,两者的仿真结果均定性还原了实验中探测到的特殊亮暗线现象,验证了该方法用于量测仿真的可行性。此外,该文还对匹配实验仪器的穿线套刻μDBO标记设计、照明波长、照明配置和待测信号区域等参数进行仿真优化,输出了基于目前实验配置的优化标记与方案。

主 题 词：计算光刻 光刻成像仿真软件 微型衍射套刻标记 穿线套刻 

学科分类：082502[082502] 08[工学] 0825[工学-环境科学与工程类] 

核心收录：

D　O　I：10.16511/j.cnki.qhdxxb.2023.25.034

馆 藏 号：203124245...