硬脆材料超精密磨削技术研究进展综述

作     者：夏江南 阎秋生 潘继生 雒梓源 汪涛 Xia Jiang-nan;Yan Qiu-sheng;Pan Ji-sheng;Luo Zi-yuan;Wang Tao

作者机构：广东工业大学机电工程学院广东广州510006 

基　　金：国家重点研发计划项目(2023YFE0204400) 国家自然科学基金资助项目(52075102) 广东省基础与应用基础研究项目(2023A1515010922) 

出 版 物：《广东工业大学学报》 (Journal of Guangdong University of Technology)

年 卷 期：2023年第40卷第6期

页      码：32-43页

摘      要：硬脆材料因其优异的物理与化学性质广泛应用于5G通讯、航空航天、电子电力等领域,高效率的超精密磨削技术是其加工流程中的重要一环。为了提高硬脆材料加工质量,需要对超精密磨削技术进行系统化的深入研究。本文从超精密磨削装备设计优化的角度出发,对自旋转磨削、双面磨削和磨抛一体化3种磨削方法的原理与机床设备进行了详细说明,介绍了超硬磨粒砂轮的制备、砂轮磨损检测与分析、砂轮修整技术的研究进展;从压痕/划痕实验、纳米磨削实验、模拟仿真分析3个角度对硬脆材料的磨削机理进行了深入探索;进一步总结了硬脆材料表面粗糙度及表面形貌、亚表面损伤、面形精度的控制方法。分析了硬脆材料超精密磨削的重点研究方向与发展趋势,为后续硬脆材料超精密磨削技术的研究提供了指导。

主 题 词：硬脆材料 超精密磨削 磨削设备 磨削机理 表面质量 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.12052/gdutxb.230151

馆 藏 号：203124255...