半导体工厂废水近零排放水系统设计及运行探讨

作     者：文保宁 周伟 WEN Baoning;ZHOU Wei

作者机构：江苏中电创新环境科技有限公司无锡214111 

出 版 物：《给水排水》 (Water & Wastewater Engineering)

年 卷 期：2023年第49卷第10期

页      码：53-58,67页

摘      要：国内首座12寸半导体工厂废水近零排放系统,由超纯水系统、回收水系统、废水系统、再生水系统组成,在确保整体水系统零排放运行情况下,保证超纯水水质的稳定成为了重要的课题.该工程运行效果稳定,处理工艺及设计理念对同类工程具有一定的参考意义.

主 题 词：近零排放 小分子有机物 循环利用 

学科分类：083002[083002] 0830[工学-生物工程类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.13789/j.cnki.wwe1964.2022.10.28.0007

馆 藏 号：203124325...