MEMS谐振器中高增益跨阻放大器设计

作     者：谢勇 来强涛 陈华 姜宇 郭桂良 阎跃鹏 XIE Yong;LAI Qiang-tao;CHEN Hua;JIANG Yu;GUO Gui-liang;YAN Yue-peng

作者机构：中国科学院微电子技术研究所北京100029 

基　　金：国家自然科学基金(61234007) 

出 版 物：《微电子学与计算机》 (Microelectronics & Computer)

年 卷 期：2016年第33卷第3期

页      码：46-49,55页

摘      要：微机械(MEMS)圆盘谐振器的振荡器具有相位噪声低,抖动小,温漂小等特点.采用TSMC 0.18μm CMOS工艺设计实现了一款用于驱动MEMS圆盘谐振器的高增益、低噪声和低功耗跨阻放大器.该放大器采用低功耗宽带电流预放大和电流电压转换级输入技术,结合基于Cherry-Hooper反相器电压放大的电路结构,实现了增益、带宽、噪声、低电源电压和动态范围等指标间的折衷,成功驱动了MEMS圆盘谐振器.Spectre仿真表明,单端跨阻增益高达115dBΩ,-3dB带宽超过500MHz,等效输入噪声电流平均值为25pA/槡Hz,功耗仅为17.6mW,芯片面积(包括所有PAD)为620μm×620μm.

主 题 词：微机械圆盘谐振器 电流预放大 Cherry-Hooper放大器 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.19304/j.cnki.issn1000-7180.2016.03.010

馆 藏 号：203124354...