高纯八氟环丁烷的制备与纯化

作     者：王刚 任少科 祝全仁 李子宽 苏耀华 方建朝 WANG Gang;REN Shaoke;ZHU Quanren;LI Zikuan;SU Yaohua;FANG Jianchao

作者机构：中昊光明化工研究设计院有限公司辽宁大连116308 

出 版 物：《低温与特气》 (Low Temperature and Specialty Gases)

年 卷 期：2023年第41卷第5期

页      码：42-47页

摘      要：在常温下,八氟环丁烷是一种无毒气体,具有较低的温室效应指数和适宜比例的碳/氟比,被广泛用作制冷剂以及半导体芯片制造工艺中的蚀刻剂和清洗剂。随着低纳米制程芯片的飞速发展,对八氟环丁烷纯度的要求越来越严苛,给高纯八氟环丁烷的纯化工艺带来了极大挑战。综述了现阶段八氟环丁烷的制备方法和纯化方法:(1)工业上广泛用于合成八氟环丁烷的方法是四氟乙烯二聚法;(2)八氟环丁烷的纯化方法包括精馏、吸附、化学转化和膜分离。通过单一的纯化方法很难得到电子级八氟环丁烷,需要多种纯化技术联合使用才能得到纯度>5N级的八氟环丁烷。

主 题 词：电子特气 八氟环丁烷 制备 纯化 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-7804.2023.05.010

馆 藏 号：203124358...