基于自对准技术的4管像素寄生电容建模与分析

作     者：杜雅娟 高静 高志远 聂凯明 Du Yajuan;Gao Jing;Gao Zhiyuan;Nie Kaiming

作者机构：天津大学微电子学院天津300072 天津市成像与感知微电子技术重点实验室天津300072 

基　　金：国家重点研发计划(2019YFB2204202) 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2023年第60卷第19期

页      码：202-208页

摘      要：转换增益是微光CMOS图像传感器的重要参数,转换增益的提高有助于提升图像传感器的信噪比,进而提升灵敏度和成像质量。由于转换增益与像素的寄生电容成反比关系,为有效提升转换增益,提出了一种基于自对准技术的4管有源像素寄生电容的二维物理模型。该模型建立了像素寄生电容与注入条件之间的关系,其中包括注入剂量、注入能量和复位电压,该模型的计算结果与TCAD仿真结果具有较高的一致性,二者之间的方差小于0.0028 fF2,验证了该模型的准确性。该模型能应用于高性能图像传感器尤其是高灵敏度微光图像传感器的设计和优化中。

主 题 词：有源像素 转换增益 寄生电容 注入工艺 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/LOP221253

馆 藏 号：203124376...