晶圆传输机械手的实现途径及其结构设计

作     者：杨树文 李霖 于朋扬 李峥 YANG Shuwen;LI Lin;YU Pengyang;LI Zheng

作者机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所北京100176 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2023年第52卷第5期

页      码：74-80页

摘      要：晶圆传输是集成电路制造设备的组成部分之一;研究晶圆传输核心部件机械手的实现途径和国内外的技术状况,分析晶圆传输机械手的更新和迭代,探讨传输精度和效率的优化措施。通过对应用技术和需求分析,对其机械结构和末端执行器进行逆向设计并对其性能进行测试,把设计固化为可以应用的技术成果;同时提出了晶圆传输机械手的优化方向,为后期技术升级和产业化提供了理论依据,其研究结果对同类设计具有借鉴意义。

主 题 词：半导体制造工艺与设备 结构设计 逆向设计 机械手 末端执行器 晶圆传输 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

馆 藏 号：203124383...