基于SSA-LT光学参数优化的测厚系统设计

作     者：程瑶 石肖伊 田又源 刘云阳 贾宁 CHENG Yao;SHI Xiaoyi;TIAN Youyuan;LIU Yunyang;JIA Ning

作者机构：重庆理工大学机械工程学院重庆400054 中国电子科技集团有限公司重庆401332 

基　　金：国家青年科学基金项目(61901068) 重庆市科委基础与前沿研究一般项目(cstc2016jcykA0497) 重庆市基础研究与前沿探索专项一般项目(cstc2020jcyj-msxmX0425,CSTB2022NSCQ-MSX0950) 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2023年第10期

页      码：47-51页

摘      要：为提高现代制造业的测量精度和效率,减少废品率、提高测量效率,解决传统接触式测厚带来的误差、对工件造成的损害等问题,文中基于激光三角法测厚原理,采用智能优化算法优化光学系统参数,设计实时、在线、非接触式测厚系统,从而实现对工件的实时、高精度的测量。通过实验验证了系统的可行性,该系统采用10 mm的测量量程,测量误差不超过±8.45μm,均方差小于1.21μm,说明该系统的测量精度较高,实现了降低工件废品率、提升测厚的有效性和准确性的目标,提高了高端工件厚度测量精度。

主 题 词：非接触式测厚 激光三角法 麻雀搜索算法 测量精度 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2023.10.009

馆 藏 号：203124539...