一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现

作     者：刘小冬 刘睿 

作者机构：吉林大学电子科学与工程学院微电子学专业吉林长春130023 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2003年第28卷第11期

页      码：16-18,23页

摘      要：随着光电器件的广泛应用,微机械光开关成为核心光交换器件的主流。在研发过程中,其器件检测手段成为人们所关注的话题。本文介绍了一种新颖的测量平台,通过高幅值利用单片机控制脉冲频率的方法来选择器件。与当前同类方法相比,具有精度高、可靠性强、成本低、易操作等特点,具有广阔的使用前景。

主 题 词：MEMS 光开关 单片机 微机械 阈值电压 方波信号源 测量平台 工作原理 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-353X.2003.11.007

馆 藏 号：203124574...