MEMS器件VHDL-AMS宏模型

作     者：孙振新 黄庆安 李伟华 

作者机构：东南大学MEMS教育部重点实验室江苏南京210096 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)重大资助项目(2002A-1-1) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2003年第40卷第5期

页      码：33-36,44页

摘      要：随着MEMS集成度的提高,迫切需要有相应的CAD工具进行系统级的设计与模拟,由于MEMS器件的工作原理包含了多种能量的耦合,宏模型的建立成了系统级设计的“瓶颈”。模拟硬件描述语言(如VHDL-AMS)提供了一种有效的方法,即建立起表示MEMS器件动态特性的常微分方程和代数方程(DAE),然后对其描述,形成相应的库单元,利用现有电路分析软件进行系统级模拟。本文介绍了MEMS器件VHDL描述的过程,并给出了横向谐振器描述的例子。

主 题 词：MEMS器件 VHDL-AMS宏模型 工作原理 硬件描述语言 电路分析软件 

学科分类：080903[080903] 080805[080805] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2003.05.007

馆 藏 号：203124575...