16×16光开关微镜阵列(英文)

作     者：陈庆华 吴文刚 王子千 闫桂珍 郝一龙 Chen Qinghua;Wu Wengang;Wang Ziqian;Yan Guizhen;Hao Yilong

作者机构：北京大学微电子学与固体电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室北京100871 

出 版 物：《Journal of Semiconductors》 (半导体学报（英文版）)

年 卷 期：2008年第29卷第8期

页      码：1496-1503页

摘      要：设计、制造和测试了一种实现16×16MEMS光开关的高反射率、大角度静电扭转制动型微镜阵列.该阵列的微镜可进行90°扭转并保持稳定的扭转状态以对入射光进行导向.针对微镜的扭转驱动特性,提出了相应的机电模型.通过单片集成光纤槽,实现了光纤-微镜-光纤的无源对准.测试结果表明,微镜反射率为93.1%~96.3%,最低插入损耗为2.1dB,另外,在经过15min的5~90Hz,3mm振幅的振动测试后,光开关的插入损耗的改变值仅为±0.01dB.

主 题 词：光开关 微镜阵列 大角度 静电驱动 微电机系统 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0253-4177.2008.08.016

馆 藏 号：203124575...