梳状电极双轴微机械加速度计的研制

作     者：陈伟平 赵振刚 丁金玲 刘晓为 马原芳 CHEN Wei-ping;ZHAO Zhen-gang;DING Jin-ling;LIU Xiao-wei;MA Yuan-fang

作者机构：哈尔滨工业大学MEMS中心哈尔滨150001 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第4期

页      码：589-592页

摘      要：提出了一种新型的基于体硅工艺的双轴加速度传感器,量程为±50gn,采用全对称结构,其电容检测部分采用变面积、差分电容式的梳状电极结构。利用有限元分析软件分析得到本文所设计的双轴加速度传感器微结构整体质量为1.174mg,X、Y轴的灵敏度皆为2.3fF/g,模态分析结果表明,第一和第二模态振型为两敏感方向的振型,且谐振频率分别为2774Hz,2775Hz。经过MEMS加工工艺制作出的芯片尺寸为5260μm×5260μm。经过测试,此双轴加速度传感器的电学灵敏度为33.78mV/g,谐振频率为2.4KHz,带宽可达到1.5KHz。

主 题 词：微机械电子系统 双轴加速度传感器 梳状电极 有限元分析 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.014

馆 藏 号：203124655...