离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性

作     者：李定 熊胜明 Li Ding;Xiong Shengming

作者机构：中国科学院光电技术研究所四川成都610209 中国科学院大学北京100039 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2015年第42卷第1期

页      码：219-223页

摘      要：以离子束溅射沉积(IBSD)方法制备了Al2O3、Nb2O5单层膜,用红外可变角度光谱椭圆偏振仪(IR-VASE)测试了薄膜的光学常数。用原子力显微镜(AFM)测量了单层膜的表面形貌及表面粗糙度,计算了单个表面的总积分散射(TIS)。以Nb2O5和Al2O3为高低折射率材料设计并制备了2.7μm高反射膜。最后对单层膜进行了环境实验检测。结果表明,制备的薄膜在中红外波段具有高的折射率和低的消光系数,光滑的表面特性和极低的表面散射损耗;在2.7μm波段没有发现由于水吸收导致的消光系数的增大;制备的反射膜在2.7μm反射率达到了99.63%,接近于理论计算值。薄膜顺利通过了一系列环境实验,显示其优良的环境稳定性。

主 题 词：薄膜 氧化物薄膜 离子束溅射 中红外 水吸收 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/cjl201542.0107002

馆 藏 号：203124835...