单压电陶瓷驱动回转定位平台实验分析

作     者：马鹏飞 崔良玉 钟俊杰 韩建鑫 MA Pengfei;CUI Liangyu;ZHONG Junjie;HAN Jianxin

作者机构：天津职业技术师范大学机械工程学院天津300222 天津职业技术师范大学天津市高速切削与精密加工重点实验室天津300222 

基　　金：天津市自然科学基金重点资助项目(22JCZDJC00740) 天津市教委科研计划基金资助项目(2022ZD030) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2023年第45卷第6期

页      码：917-921页

摘      要：为了能够实现高精度的微纳米级转动,该文基于柔性铰链设计了一种单压电陶瓷驱动的纯转动微定位平台。平台采用圆周阵列式柔性梁实现运动导向与解耦,通过杠杆机构增大动平台转动行程。首先通过有限元仿真验证了圆周阵列式柔性梁对动平台轴心漂移的抑制作用,然后通过实验对其运动特征进行测试与分析。测试结果表明,该机构具有良好的回转精度,在x轴正方向轴心漂移量为0~0.23μm,y轴负方向轴心漂移量为0~4.59μm,旋转弧度可达916μrad,旋转精度为0.53μrad。轴心漂移补偿后整体误差最大为4.9%。

主 题 词：压电陶瓷 微转动平台 柔性铰链 轴漂 旋转弧度 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080202[080202] 080501[080501] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2023.06.022

馆 藏 号：203125192...