基于镀钯微悬臂梁探针的光纤氢气传感器

作     者：张莉超 黄嘉斌 徐磊 王义平 廖常锐 Zhang Lichao;Huang Jiabin;Xu Lei;Wang Yiping;Liao Changrui

作者机构：深圳信息职业技术学院智能制造与装备学院广东深圳518172 深圳大学物理与光电工程学院光电子器件与系统教育部/广东省重点实验室深圳市超快激光微纳制造重点实验室广东深圳518060 深圳职业技术大学电子与通信工程学院广东深圳518055 

基　　金：国家自然科学基金(62101353,62122057) 中国博士后基金项目(2018M643164) 广东省基础与应用基础研究基金项目(2022B1515120061) 深圳市科技计划项目(RCYX20200714114524139 深圳市超快激光微纳制造重点实验室ZD⁃SYS20220606100405013,JCYJ20190808161019406) 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2023年第60卷第23期

页      码：123-129页

摘      要：为了快速检测氢气泄漏,迫切需要开发一种更安全、浓度检测下限更低的氢气传感器。将镀有钯膜的微悬臂梁探针与单模光纤端面进行组装,设计了一种易制备且低成本的光纤氢气传感器。实验结果表明,该传感器具有超高的氢气响应灵敏度,约为−9.887μm/%,同时具有低至1.76×10^(−3)%的超低检测下限和优异的重复性。在痕量氢气体积分数条件下,该传感器对氢气体积分数表现出优异的线性响应,这对痕量气体检测具有重要意义,使其在氢能源电池、核电站和太空探索中具有重要的应用价值。

主 题 词：光纤传感器 氢气检测 微悬臂梁 钯膜 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/LOP232225

馆 藏 号：203125213...