等占空比周期对版图形的研究

作     者：万鹏程 黄彦国 王永功 赵海红 张建巾 马依依 WAN Pengcheng;HUANG Yanguo;WANG Yonggong;ZHAO Haihong;ZHANG Jianjin;MA Yiyi

作者机构：天水天光半导体有限责任公司甘肃天水741000 兰州理工大学理学院兰州730050 

基　　金：甘肃省科技计划项目(21ZD4GE035) 

出 版 物：《电子与封装》 (Electronics & Packaging)

年 卷 期：2023年第23卷第12期

页      码：57-61页

摘      要：当图形尺寸远大于衍射极限时,由电磁波的波粒二象性可认为电磁波是沿直线传播的。忽略衍射的效应,统计学要求多次测量以满足可靠度的要求。基于中心极限定理,满足概率要求,设计了梳状对版检查结构。通过试验得出,当齿数增大时,光刻机的成像亮度会增大,也有益于提高空间像的对比度。对比不同占空比周期梳状结构的光强分布,发现占空比为50%的对版图形有益于提高空间像的对比度,且实际光刻操作过程中,不会对掩模的对准操作产生影响,能够满足工艺要求。

主 题 词：衍射极限 可靠度 对比度 对版图形 占空比 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.16257/j.cnki.1681-1070.2023.0174

馆 藏 号：203125214...