基于掺钪氮化铝FBAR的滤波器设计研究

作     者：黄靓文 吕世涛 孙海燕 赵继聪 陶玉娟 HUANG Liangwen;LV Shitao;SUN Haiyan;ZHAO Jicong;TAO Yujuan

作者机构：南通大学信息与科学技术学院江苏南通226019 南通大学专用集成电路设计重点实验室江苏南通226019 通富微电子股份有限公司江苏南通226006 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61974077) 

出 版 物：《固体电子学研究与进展》 (Research & Progress of SSE)

年 卷 期：2023年第43卷第6期

页      码：503-509页

摘      要：设计了一款工作在2.11~2.18 GHz频段的薄膜体声波滤波器。基于有限元仿真研究了掺钪氮化铝(AlScN)的薄膜体声波谐振器,并分析了掺钪对谐振器性能的影响。提出了边缘凸起结构的优化设计方案,改善了谐振器的有效机电耦合系数和品质因数。利用Modified Butterworth-van Dyke(MBVD)等效电学模型对FBAR滤波器进行仿真研究,并将所设计的7层内置螺旋电感与滤波器电路进行协同仿真,优化后的FBAR滤波器在2.11~2.18 GHz频段的插入损耗40 dB。

主 题 词：薄膜体声波谐振器 掺钪氮化铝 MBVD等效电学模型 多层螺旋电感 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 080902[080902] 08[工学] 

D　O　I：10.19623/j.cnki.rpsse.2023.06.003

馆 藏 号：203125216...