高灵敏度SiC动态高温压力传感器仿真研究

作     者：李强 梁庭 雷程 李永伟 周行健 LI Qiang;LIANG Ting;LEI Cheng;LI Yongwei;ZHOU Xingjian

作者机构：中北大学动态测试技术国家重点实验室山西太原030051 太原工业学院自动化系山西太原030051 

基　　金：山西省重点研发计划资助项目(201903D121123) 中央引导地方科技发展资金资助项目(YDZX20201400001664) 山西省自然科学基金资助项目(201801D221203) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2024年第43卷第1期

页      码：62-64,68页

摘      要：为了提高碳化硅(SiC)动态高温压力传感器的灵敏度,采用p型SiC材料,同时对传感器的敏感单元的不同结构———方膜和圆膜,利用Ansys软件进行了静力学仿真与分析,并完成了敏感芯片的尺寸设计。仿真结果表明:优化后的传感器输出灵敏度为14.2μV/(V·kPa)。在100~600℃内非线性误差小于1.53%。动态仿真表明:传感器的固有频率为481kHz,传感器可以在160kHz高频环境中安全工作,该结果为进一步制备SiC高温压力传感器奠定了理论支撑。

主 题 词：碳化硅 高温压力传感器 有限元分析 高灵敏度 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2024)01-0062-03

馆 藏 号：203125227...