应用于激光微显示中高速扫描的压电MEMS微镜

作     者：李浩祥 沈文江 余晖俊 LI Haoxiang;SHEN Wenjiang;YU Huijun

作者机构：中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院合肥230026 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所苏州215123 

基　　金：国家重点研发计划(No.2018YFF01010901) 苏州新型激光显示技术重点实验室(No.SZS2022007) 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2023年第52卷第12期

页      码：59-68页

摘      要：设计并制作了一款直径为1.1 mm、频率为31.11 kHz的MEMS压电微镜,用于需要高速扫描且小尺寸的应用场景。该器件所需模态为扭转模态,与其他模态分离情况好,不会出现耦合。实验结果显示,电压为32 V时光学扫描角40.66°,品质因子1155。改变PZT极性,实验得到了薄膜材料的铁电性质影响。另外,完成了MEMS微镜在0℃~100℃不同温度下角度的变化实验,偏离不超过±1°。仿真模拟、实验结果和理论计算结果三者拟合情况好,表明该设计的微镜具有较高的可控性和稳定性,为实现高精度扫描提供了有力支持。该MEMS压电微镜在AR/VR等领域中具有潜在的应用前景。

主 题 词：压电微镜 压电陶瓷 微机电系统 激光光束扫描 AR/VR 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 0835[0835] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/gzxb20235212.1223001

馆 藏 号：203125297...