用于原子磁强计的超表面集成反射型气室设计

作     者：史镕瑞 雷程 梁庭 王涛龙 刘士琳 王丙寅 陈国锋 Shi Rongrui;Lei Cheng;Liang Ting;Wang Taolong;Liu Shilin;Wang Bingyin;Chen Guofeng

作者机构：中北大学动态测试技术国家重点实验室山西太原030051 内蒙古动力机械研究所内蒙古呼和浩特010000 

基　　金：山西省重点研发计划项目(202102030201001,202102030201009) 中央引导地方科技发展资金(YDZX20201400001664) 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2024年第51卷第2期

页      码：180-185页

摘      要：原子磁强计以其高灵敏度和成本低等优势受到了越来越多的关注,如今,进一步提高原子磁强计的芯片集成度已成为主要趋势,因为它有利于生物磁性测量与成像。但是,目前实现原子磁强计小型化的主要障碍是微加工原子气室的光学元件分立。鉴于此,笔者提出一种基于新兴超表面的超紧凑片上原子气室方案,该方案将超表面与各向异性腐蚀的单晶硅相结合,在保证高灵敏度的同时提高了原子气室的集成度。该方案能够对圆偏振入射光束进行光路操纵,效率可达到80%。超表面采用厚度为500 nm的硅设计而成,可以通过基本的微加工工艺直接在原子气室上制造。所设计的新型原子气室具有集成度高、可大批量制造的优点,为未来生物磁性传感系统的发展提供了参考。

主 题 词：表面光学 超表面 异常折射 原子气室 原子磁强计 光路集成 

学科分类：07[理学] 080202[080202] 08[工学] 070203[070203] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/CJL230700

馆 藏 号：203125392...