共光路双频外差干涉法测量模拟磁头磁盘静态间隙

作     者：岳兆阳 张蕊 白少先 孟永钢 殷纯永 YUE Zhao-yang;ZHANG Rui;BAI Shao-xian;MENG Yong-gang;YIN Chun-yong

作者机构：清华大学摩擦学国家重点实验室北京100084 清华大学精密仪器与机械学系北京100084 

基　　金：国家973计划(2003CB716205)资助项目 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2005年第32卷第12期

页      码：1664-1667页

摘      要：提出了一种共光路外差干涉测量模拟磁头磁盘静态间隙的方法,该方法以低频差横向塞曼双频激光器作为光源,采用专门设计的双折射透镜分光和相位测量技术,实现了对光波半波长的3600细分,从而使测量分辨率达到0.1 nm。原理实验结果表明,该系统在无恒温的普通实验室条件下,1 h内稳定测量实验结果漂移小于4 nm;利用压电陶瓷(PZT)微动工作台(步进分辨率1 nm)驱动反射镜(模拟磁头)产生位移,在1μm范围内与该系统测量结果进行比对,得到线性相关系数优于0.9998。

主 题 词：测量 外差干涉 共光路 相位测量 磁头磁盘 静态间隙 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0258-7025.2005.12.016

馆 藏 号：203125507...