光刻机模拟隔振试验装置内部世界动力学模型分析

作     者：邓习树 吴运新 李宝童 杨辅强 DENG Xishu;WU Yunxin;LI Baotong;YANG Fuqiang

作者机构：中南大学机电工程学院湖南长沙410083 

基　　金：国家自然科学基金委项目重大项目课题(编号:50390064) 上海市科委联合资助项目<精密机械减振隔振技术研究> 

出 版 物：《制造技术与机床》 (Manufacturing Technology & Machine Tool)

年 卷 期：2007年第10期

页      码：77-81页

摘      要：为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机掩模台、工件台由于高速运动而引起光刻机工作核心部分——工作平台的振动问题,根据工业应用中步进扫描光刻机的运动特点和工作要求,设计了一种内部世界和外部世界用精密6自由度减振器连接的步进扫描光刻机隔振试验装置;建立了内部世界6自由度的动力学模型,运用设计的参数计算出了内部世界的固有频率和对应的振型;同时运用ANSYS有限元软件进行了分析计算,两者的计算结果吻合很好,验证了动力学模型的正确性。

主 题 词：光刻机 隔振 试验装置 内部世界 模型 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-2402.2007.10.027

馆 藏 号：203125518...