晶圆微芯片检查提取设备的设计与实现

作     者：郭俭 林海涛 毕秋吉 

作者机构：上海微松工业自动化有限公司上海201114 

基　　金：上海市科技攻关项目(编号:10111101100) 

出 版 物：《机械制造》 (Machinery)

年 卷 期：2012年第50卷第9期

页      码：5-8页

摘      要：介绍了晶圆微芯片检查提取设备的工艺流程和技术要求,设计了各部分结构,特别对芯片提取翻转放置机构进行了详细说明。介绍了富士PLC、触摸屏、伺服电机和E-SX总线在该设备中的应用,该系统通过E-SX总线将人机界面、控制器和执行器件连接,配线简单、维护方便、高速可靠。

主 题 词：晶圆微芯片 检查提取 E-SX总线 PLC 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-4998.2012.09.002

馆 藏 号：203125660...